英国5nm级电子束光刻中心落成,半导体研发能力再迎升级
2025-05-08
英国南安普敦大学部署全球第二台200kV电子束光刻设备,分辨率可达5nm以下,成为欧洲首个此类设施。该设备由日本JEOL提供,可处理200毫米晶圆,未来计划支持300毫米晶圆量产。英国政府通过技能计划支持半导体人才发展,旨在提升本土研发能力,推动量子计算、硅光子学等领域的技术突破。


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